JIS B9923:1997 pdfダウンロード

JIS B9923:1997 pdfダウンロード。クリーンルーム用衣服の 汚染粒子測定方法 Clean room garment−Methods for sizing and counting particle contaminants in and on clean room garments
1. 適用範囲
この規格は，クリーンルームで使用する布製のクリーンルーム用衣服(1)（以下，清浄衣服という。）の生地の内外に付着している直径5μm以上50μm未満の粒子，50μm以上の粒子及び長さ100μm以上の繊維，並びに直径0.5μm以上，1μm以上及び5μm以上の分離可能な粒子数の測定方法について規定する。
注(1) クリーンルーム用衣服とは，クリーンルームで使用する作業衣で，続き服，一組の上衣及び下衣，並びにコートをいう。 備考1. この規格の引用規格を，次に示す。 JIS B 8330 送風機の試験及び検査方法
JIS B 9921 光散乱式自動粒子計数器
JIS K 8593 石油エーテル（試薬）
JIS K 8839 2−プロパノール（試薬）
JIS K 8848 ヘキサン（試薬）
JIS P 0138 紙加工仕上寸法
JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語 2. この規格で { } を付けて示してある単位及び数値は，従来単位によるものであって，参考として併記したものである。
2. 用語の定義
この規格で用いる主な用語の定義は，JIS Z 8122による。
3. 測定環境
清浄衣服に付着した粒子の測定環境は，その清浄衣服を使用するクリーンルームの清浄度と同等以上に清浄な環境とする。
4. 測定方法の種類
測定方法は，次の2種類とする。
(1) 顕微鏡法 この方法は，衣服の指定された6か所において衣服地の1枚について，1か所当たり0.960×10−3m2 (960mm2) の面積に，毎分14×10−3m3 (14l) の割合で十分に清浄な空気を1分間通過させる。作業衣を通過し，清浄衣服から分離可能な粒子を含んだ空気を測定用薄膜フィルタでろ過し，衣服からはく離した粒子をフィルタ面上に補集し，5μm以上50μm未満及び50μm以上の粒子数並びに長さ100μm以上の繊維数を顕微鏡を用いて計数するものである。
(2) 光散乱式自動粒子計数器法 この方法は，0.5μm以上1μm以上及び5μm以上の粒子について，その濃度変化及び排出空気量によって，清浄衣服からはく離した粒子の単位容積当たりの粒径区分別粒子数を一定の清浄な環境内において清浄衣服の一部又は全部を一定条件で運動させ，発じんさせたとき供給空気及び排出空気の清浄度をJIS B 9921に規定する計数器によって計数するものである。
備考 供給空気及び排出空気の粒子濃度を計数する計数器は，同一計数器を用いる。
5. 顕微鏡法
5.1 測定に用いる器具 測定に用いる器具は，次のとおりとする。
(1) 測定用薄膜フィルタ 測定用薄膜フィルタは，清浄衣服からはく離した粒子及び繊維を捕集するためのフィルタで，直径47mm，0.8μm以下の孔径をもち，一辺が3.1mmの格子が印刷されており，黒色のものとする。
(2) アダプタ付きフィルタホールダ アダプタ付きフィルタホールダは，エアフィルタを収納できる内円すい付きプレフィルタホールダと測定用薄膜フィルタを収納する外円すい付きフィルタホールダとの間に，供試用清浄衣服の生地1枚を装着して円すいで締結できるようにした一組のフィルタホールダで，二つのフィルタホールダを締結した状態で空気漏れがあってはならない。 測定用薄膜フィルタ上の有効ろ過面積は，929×10−3m2 (929mm2) とする。
(3) ピンセット ピンセットは，先端が平らで，フィルタをきずつけるおそれのないものとする。
(4) ペトリ皿又はスライドガラス ペトリ皿又はスライドガラスは，測定用薄膜フィルタを清浄な状態で保管できるものとする。
(5) 吸引ポンプ 吸引ポンプは，清浄衣服の生地，測定用薄膜フィルタ及び臨界オリフィス又は流量計を取り付けた状態で，毎分14×10−3m−3 (14l) の吸引能力があるもの。
参考 最低67kPa {500mmHg} の吸引能力がある真空ポンプを用いることができる。
(6) 顕微鏡 顕微鏡は，最小粒径5μmを測定するために十分な分解能をもち，視野が平たんで，次の条件を満足するものとする。
(a) 顕微鏡の組合せ倍率は，50±10倍及び100±10倍とし，接眼レンズの倍率は10倍，対物レンズの倍率は，5倍及び10倍とする。
(b) 双眼又は単眼の顕微鏡を用い，実体顕微鏡は使用しない。
(c) 可動ステージは，測定用薄膜フィルタの全有効ろ過面積を走査できるものとする。
(d) 接眼レンズミクロメータは，10mmを100等分したものとする。
(e) 照明器は，斜め方向から照明して，明暗度が変えられ，集光レンズの焦点が合わせられ，さらに自由に方向が変えられるものとする。
(7) 計数器 計数器は，手動で粒子数を計数できるものとする。
(8) ステージマイクロメータ ステージマイクロメータは，1mmを100等分したものである。
5.2 試薬 試薬は，孔径0.45μmの薄膜フィルタでろ過したものを用い，次による。 蒸留水 イソプロピルアルコール イソプロピルアルコールは，JIS K 8839の1級とする。 石油エーテル 石油エーテルは，JIS K 8593の特級とする。