JIS B9925:1997 pdfダウンロード
JIS B9925:1997 pdfダウンロード。光散乱式液中粒子計数器−校正方法及び検証方法 Light scattering liquid-borne particle counter
1 適用範囲
この規格は,液体中に浮遊する粒子の粒径,及び個数又は粒子個数濃度を測定する,光散乱式液中粒子計数器(以下,粒子計数器という。)の校正方法及び検証方法について規定する。この規格における粒子計数器は,液体中に含まれる粒子を個々に測定する装置であり,一般的な測定粒径範囲は,0.1〜10 μmである。
注記1 この粒子計数器は,JIS K 0230における純水の清浄度の測定及び薬液の清浄度を評価する場合に用いられる。
注記2 粒子計数器で測定する粒径は,純水中に浮遊している校正用粒子の光散乱相当径であり,実際の粒径を測定しているわけではない。 なお,粒径は粒子の直径であり,粒子径ともいう。
注記3 この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。 ISO 21501-2:2007,Determination of particle size distribution−Single particle light interaction methods−Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter(MOD) なお,対応の程度を表す記号“MOD”は,ISO/IEC Guide 21-1に基づき,“修正している”ことを示す。
2 引用規格
次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。これらの引用規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。
JIS Z 8103 計測用語 JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語
JIS Z 8901 試験用粉体及び試験用粒子
3 用語及び定義
この規格で用いる主な用語及び定義は,JIS Z 8103及びJIS Z 8122によるほか,次による。
3.1 校正用粒子(calibration particle) 平均粒径が既知の単分散粒子であり,例えば,JIS Z 8901に規定するポリスチレン系(PSL)の試験用粒子1がある。
3.2 粒径区分(size setting) 特定の粒径より大きい粒子だけを選別して粒子個数濃度又は粒子個数の測定を行う場合における粒子計数器の選別範囲。粒径区分は,粒径値で表す。
3.3 計数効率(counting efficiency) 純水中に校正用粒子が浮遊している試料を測定したとき,参照器が示す粒子個数濃度に対する粒子計数器が示す粒子個数濃度の比。
3.4 最小可測粒径(minimum detectable particle size) 粒子計数器が示す粒径のうち最も小さい粒径。
3.5 波高分析器,PHA(pulse height analyzer) パルスの波高値分布を測定する装置。
3.6 粒径分解能(size resolution) 異なった粒径を識別できる能力。
3.7 偽計数(false count rate) 測定した液体中に測定可能範囲の大きさの粒子が存在しないにもかかわらず,粒子検出器が計数する計数値。
3.8 同時通過損失(coincidence loss) 粒子検出領域を複数個の粒子が同時に通過したり,電気回路の処理時間などが原因で生じる粒子の数え落とし。試料に含まれる粒子個数濃度が高いほど同時通過損失は大きくなる。
3.9 最大粒子個数濃度(maximum particle number concentration) 測定が許される最大の粒子個数濃度であり,個々の粒子計数器について規定する。
注記 粒子個数濃度が増すと粒子計数器の同時通過損失が増し,正しい表示をしなくなるので,最大粒子個数濃度を個々の粒子計数器について決定する必要がある。
3.10 フローセル(flow cell) 試料液体へ光線を照射するために用いる透明な流路。
4 測定原理 粒子の大きさ及び個数の測定は,粒子に光を照射すると光の一部は散乱されるために,この散乱された光量から粒子の大きさを,また,粒子が光束を通過するときに発生する散乱光のパルスの数から粒子の個数を計数する。具体的には,試料液体を粒子計数器の試料導入口から一定流量でフローセルに導入し,光による照射領域を通過させる。個々の粒子によって散乱される光を光電変換素子に集光し,パルス状の電気信号に変換する。パルス信号の波高値は,散乱光量に比例する。また,散乱光量と浮遊粒子の粒径とが一定の関係にあることを利用して,パルス波高値の分析によって粒径を選別し,かつ,波高値を粒径に対応する設定値と比較することによってパルス状信号の個数を計数して粒径区分ごとの粒子個数を求める。
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