JIS B9926:1991 pdfダウンロード

JIS B9926:1991 pdfダウンロード。クリーンルーム−使用する機器の 運動機構からの発じん量測定方法 Clean room−Test methods for dust generation from moving mechanisms
1. 適用範囲 この規格は，クリーンルームその他の清浄環境内で用いる機器(1)の運動機構が運転時に発生する微粒子の大きさと数とを測定する方法について規定する。
注(1) 生産機器，測定機器，ロボット，搬送機器など。
備考1. 運動機構（以下，試験体という。）とは，水平往復動，垂直往復動（上下運動），回転運動及び揺動運動をする機構をいい，これらの運動が組み合わされる場合も含む。
2. この規格の引用規格を，次に示す。
JIS B 9920 クリーンルーム中における浮遊微粒子の濃度測定方法及びクリーンルームの空気清浄度の評価方法
JIS B 9921 光散乱式自動粒子計数器
JIS K 0554 超純水中の微粒子測定方法
JIS K 8839 2−プロパノール（イソプロピルアルコール）（試薬）
JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語
JIS Z 8762 絞り機構による流量測定方法
2. 用語の定義 この規格で用いる主な用語の定義は，JIS B 9920, JIS B 9921, JIS Z 8122によるほか，次のとおりとする。
(1) ワイパ 対象物を払しょくして清浄化する器具。低発じん性，吸着性，制電性の条件を満足した布，ポリウレタンなどでできている。
3. 測定装置 測定装置は，次による。
3.1 構成 送風部，エアフィルタ部，試験体設置部，縮流混合部及び測定部で構成する。 3.2 種類 測定装置の種類は，送られる空気の方向によって分類し，水平形及び垂直形とする［図1(a)及び図1(b)参照］。
3.3 構造 測定装置の構造は，次による。
(1) 構造一般 測定装置の内面は平滑であって，微粒子の付着しにくいものであり，さびを発生しないものであること。微粒子の測定値に影響を与えるような微粒子の流出入がない構造であること。
(2) エアフィルタ部 エアフィルタ部は，試験体設置部に清浄空気を供給する部分で，設置するフィルタは，ULPAフィルタを用いる。
(3) 試験体設置部 試験体設置部の寸法は，試験体が実際に使用されるときと同一の状態で運転できるような大きさとする。
(4) 縮流混合部 試験体からの発じんが気流と十分に混合し，測定部における気流中の粉じん濃度がなるべく一様になるような構造とする。 また，試験体を装置内に設置するための気密扉を設ける。
(5) 測定部 発じん量及び風速を測定する場所で，発じん量の測定が適正に行え，かつ，4.6の測定が適正に行える寸法とする。 なお，粉じんが，装置内面に付着することをなるべく避けるように配慮する。 サンプリング管の材料及び長さ並びにサンプリング管の吸入端軸には，JIS B 9920の5.4（測定準備）の規定による。