JIS K0143:2000 pdfダウンロード

JIS K0143:2000 pdfダウンロード。表面化学分析―二次イオン質量分析法―シリコン中に均一に添加されたボロンの原子濃度の定量方法 Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
この規格は，工業標準化法第12条第1項の規定に基づき，財団法人大阪科学技術センター付属ニューマ テリアルセンター (OSTEC) 及び財団法人日本規格協会 (JSA) から工業標準原案を具して日本工業規格（日本産業規格） を制定すべきと申出があり，日本工業標準調査会の審議を経て，通商産業大臣が制定した日本工業規格（日本産業規格）で ある。