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JIS B7433
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JIS B7433:1989 pdfダウンロード。ニュートンゲージ Newton Gauges 1. 適用範囲 この規格は,光学部品の表面の真球度及び曲率半径の基準として用いるニュートンゲージについて規定する。 備考 光学部品の平面の基準として用いるニュートンゲージは,平面を曲率半径が無限大 (∞) の球面として扱う。 引用規格: JIS B 7430 オプチカルフラット JIS B 7541 標準尺 2. 種類 ニュートンゲージは,その使用区分によって,次の3種類とする。 (1) 校正用ニュートンゲージ 校正用ニュートンゲージ(以下,校正用ゲージという。)は,3.(1),4.1(1)及び4.2(1)に規定する形状及び寸法,真球度及び曲率半径をもつ凹凸一対のニュートンゲージであって,基本ニュートンゲージの真球度及び曲率半径の比較測定又は測定器の校正の基準として用いる。 なお,校正用ゲージの呼び (R0) は,曲率半径によって,10,20,50,100,200,500,1000及び∞の8通りとする。 (2) 基本ニュートンゲージ 基本ニュートンゲージ(以下,基本ゲージという。)は,校正用ゲージとの比較測定によって又は校正用ゲージを用いて校正した測定器によって真球度及び曲率半径が測定され,かつ,曲率半径の値の測定精度が明示されている凹凸一対のニュートンゲージであって,常用ニュートンゲージの製作又は検査のための基準として用いる。 備考 基本ゲージは,2.(1)の条件が満たされる場合には校正用ゲージとして使用してもよい。 (3) 常用ニュートンゲージ 常用ニュートンゲージ(以下,常用ゲージという。)は,検査の対象となる光学部品の表面に適合した大きさをもち,真球度及び曲率半径の値を基本ゲージによって校正したニュートンゲージであって,光学部品の製作及び検査に際し使用する。 3. 形状及び寸法 ニュートンゲージの外周形状は円形とし,各部の寸法は,ニュートンゲージの種類によって次のとおりとする(図1参照)。 ただし,常用ゲージの形状及び寸法については,特に規定しない。 4. 精度 4.1 真球度 ニュートンゲージの真球度は,次による。 (1) 校正用ゲージの真球度は,幾何学的に正しい球面からの偏差が0.025μm以内でなければならない。 備考 R0が∞の校正用ゲージは,外径の大きさを除き,JIS B 7430(オプチカルフラット)による片面0級のオプチカルフラットに該当する。 (2) 基本ゲージの真球度は,校正用ゲージとの比較によって,球面からの見掛け上の偏差が,0.025μm以内であり,かつ,基本ゲージの凸面と凹面を比較したとき,両者の間に0.05μmを超える差異があってはならない。 また,基本ゲージの凸面と凹面との比較に際し,有効径の21の大きさをもつ任意の領域内で0.025μmを超える差異があってはならない。 備考 Rが∞の基本ゲージは,外径の大きさを除き,JIS B 7430による片面1級のオプチカルフラットに該当する。 (3) 常用ゲージの真球度は,基本ゲージとの比較によって,常用ゲージ及び基本ゲージのうちいずれか小さい方の有効径内の差異が0.05μm以内であって,かつ,その有効径の21の大きさをもつ任意の領域内で0.025μmを超える差異があってはならない。 備考 Rが∞の常用ゲージは,その平面度がJIS B 7430による片面2級又は3級のオプチカルフラットに該当する。 4.2 曲率半径 ニュートンゲージの曲率半径は,温度23℃における値とし,次による。 (1) 校正用ゲージの曲率半径は,表3を満足していなければならない。 (2) 基本ゲージの曲率半径は,表4を満足していなければならない。10-15 JIS B7433
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