JIS B9920:2002 pdfダウンロード。クリーンルームの空気清浄度の評価方法Classification of air cleanliness for cleanrooms 1.適用範囲　 この規格は，クリーンルーム及びこれに関連する制御された環境（以下，クリーンルーム施設という。）における空気清浄度の浮遊微粒子濃度によるクラス分類及びその評価法について規定する。 分類は，粒径0.1µm～5 µm の範囲における粒径以上の累積個数濃度によって行う。ただし，粒径 0.1 µm未満の超微粒子と5µm を超える粗大粒子については，それぞれ U 表示，M 表示で表すことができる。このクラス分類は，浮遊微粒子の物理的，化学的性質を特徴付けるために用いてはならない。また，この規格で規定する粒径と上限濃度との関係は，クラス分類を行うためのもので，実際の粒径分布を表すものではない。 備考 この規格の対応国際規格を，次に示す。なお，対応の程度を表す記号は，ISO/IEC Guide 21 に基づき，IDT（一致している），MOD（修正している），NEQ（同等でない）とする。 ISO 14644-1：1999，Cleanrooms and associated controlled environments─Part1：Classification of aircleanliness (MOD)