JIS B9922:2001 pdfダウンロード。クリーンベンチ Clean work station 1. 適用範囲 この規格は，送風機及びHEPAフィルタ又はULPAフィルタを内蔵し，作業空間を一定の空気清浄度（以下，清浄度という。）に維持するクリーンベンチ(1)について規定する。ただし，作業空間が負圧となる構造のものには適用しない。 注(1) トンネルユニット，ファンフィルタユニット及びクリーンブースについても適用できる。 なお，ファンフィルタユニットについては，附属書（規定）による。 2. 引用規格 次に掲げる規格は，この規格に引用されることによって，この規格の規定の一部を構成する。これらの引用規格は，その最新版（追補を含む。）を適用する。 JIS B 8330 送風機の試験及び検査方法 JIS B 8346 送風機及び圧縮機−騒音レベル測定方法 JIS B 9920 クリーンルーム中における浮遊微粒子の濃度測定方法及びクリーンルームの空気清浄度の評価方法 JIS B 9921 光散乱式自動粒子計数器 JIS C 1302 絶縁抵抗計 JIS C 1502 普通騒音計 JIS C 1505 精密騒音計 JIS C 1510 振動レベル計 JIS C 1609 照度計 JIS T 8202 一般用風速計 JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語 JIS Z 8731 環境騒音の表示・測定方法 JIS Z 8901 試験用粉体及び試験用粒子