JIS B9924:1990 pdfダウンロード。表面付着粒子計数器 Surface Particle Counters 1. 適用範囲 この規格は，鏡面状平面基板（以下，ウェーハという。）上に付着した粒子状汚染物質（以下，粒子という。）の粒径及び個数を光学的に測定する表面付着粒子計数器（以下，計数器という。）について規定する。 備考 計数器を用いて行う測定方法は，参考に示す。 引用規格： JIS B 9921 光散乱式自動粒子計数器 JIS Z 8103 計測用語 JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語 2. 用語の意味 この規格で用いる主な用語の意味は，JIS B 9921（光散乱式自動粒子計数器），JIS Z 8122（コンタミネーションコントロール用語）及びJIS Z 8103（計測用語）によるほか，次による。 (1) 計数効率 光学顕微鏡を用い，計数器が表示する付着粒子濃度 (N) と目視によって計数した粒径約0.5洀上の表面付着PSL粒子濃度 (N0) との比率。 計数効率 (%) ＝1000NN (2) 雑音等価粒径 ブラウン管オシロスコープ上に現れた信号処理前のパルス出力信号の中で最多頻度で現れるパルスの波高値 (Vi) （ピーク値）と，これに含まれる白色雑音 (Vn) （ピーク対ピーク値）とのSN比 (Vi /Vn) が1になるようなPSL粒子の直径（最小可測粒径に対応する値）。 (3) パルス実用可測粒径 信号処理前の最多頻度パルス出力信号のSN比が3になるようなPSL粒子の直径。 (4) ヒストグラム実用可測粒径 信号処理後の出力信号に対する多チャネル波高分析計 (PHA) ヒストグラムの極小値 (hi) と極大値 (hp) との比 (hi/ hp) が0.7になるようなPSL粒子の直径。 (5) 信号処理前出力 光検出器に直結する広帯域前置増幅器出力端の未処理信号出力。 (6) 信号処理後出力 波形整形，AD変換，雑音消去，波高分析などの信号処理を行った後の信号出力。 (7) 加圧式噴霧器 加圧空気によってPSL粒子の懸濁液を霧化する装置。 (8) 校正用ウェーハ 表面に特別な酸化，又は薄膜コーティングが施されていない鏡面研磨されたシリコン単結晶ウェーハ。 (9) 検査時間 一番目のウェーハをカセットから搬出する瞬間から，最後のウェーハをカセットに収納し，かつ，信号を処理し表示が完了するまでの時間を測り，ウェーハ枚数で除した1枚当たりの平均の検査時間。 3. 測定原理 ウェーハ上にレーザ光，又はランプ光を照射する。このとき，基板上に付着した粒子によって生じる散乱光，回折光，偏光，蛍光などを光電変換器に集光し，パルス状電気信号に変換する。パルス信号の波高値とウェーハ上に付着した粒子の直径とが一定の関係にあることを利用して，パルス波高値（パルス面積値を含む。）から粒径を，またパルスの数から付着粒子数を計測する。この方法における粒径は，絶対値を示すものではなく，等価の散乱光を生じるPSL粒子の直径に相当する相対値を示す。 4. 構成 4.1 計数器の基本構成 計数器は，図1に示すように少なくとも光源，照射光学系，走査系（光ビーム，試料台及び受像部の機械的又は電気的走査），受光光学系，光電変換部，信号処理部（波高分析部を含む。）及び表示部で構成する。