JIS R1636:1998 pdfダウンロード。了七三以夕又薄膜膜厚试联方法 一触针式表面粗吉计l七大测定方法Test method for thickness of fine ceramic thin films—Film thickness by contact probe profilometer 1 適用範囲 この規格は. y夕薄膜D膜厚窑，触针式表面粗é前汇上○て试脁寸石方法亿vて规定寸石。/用て吉石膜厚笔用注,10~～10 000nm上寸石。 懒考二D规格注，7了不>也子三o夕×薄膜(ITo膜，SnO,膜なE）o基材(尤亏又基板な匕）仁 被覆é九てv石塌合，基材c被覆礼てvなv 部分匕被覆é礼てv石部分て，境界部k明贝上歹な段差o形成志九てv 为塌合炷遒用て老石o，境界s不明0上歹て尚石塌合注_用℃老なv ‘。 2引用规格次揭泞为规格忙，二O)规格引用é九石二匕k上○て，二0)规格D规定D一部窑檇成寸石。二机6D引用规格，子最新版在通用寸石。 JS B 0651触式表面粗a测定器 JIS R 16007了才屯三少夕又開速用晤JIS Z8401数值D丸o方 IsO 3274 Geometrical Product Specifications (GPS)一Surface texture : Profile method—Nominal characteristics of contact (stylus) instruments 3.定二D规格て用v石主な用语D定羲汰，JIS R 1600汇上为任办，次D上将’匕寸石。 )77i>也罗三少夕z薄膜﹑基材表面k薄